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非晶膜图谱-自然科学领域：

研究人员

徐淑华 关若男 于赢大 孙金坛 张云芝 邱德润 李日升

相关术语

电子束 氮化硅-氮化铝 薄膜 硅-氮键 铝-氮键 氧化 直流反应溅射 结合力

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