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靶基距图谱-自然科学领域：

研究人员

赫晓东 陈伟 惠迎雪 马李 杭凌侠 徐均琪 孙跃 滕敏

相关术语

平均自由程 非平衡磁控溅射 饱和蒸气压 均匀性 电子束物理气相沉积 磁控溅射 碰撞几率

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