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调谐 闭环控制 预压力 粘滑摩擦 弯曲振动 压电陶瓷 设计 温度 有限元方法 输出特性 大力矩 压电体 真空 非常态 频率跟踪 共振频率 横向振动 机械特性 ANSYS 固有频率 频率温度特性 换能器 接触角 驱动电路 谐响应分析 扭转振动 接触模型 模态分析方法 压电效应 三相驱动