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空间误差 渐逝波 数控加工中心 动态性能 强耦合理论 数控机床 幅频特性 光谱漂移 滚珠丝杠传动 固有频率 温度控制 五坐标数控机床 电容称重传感器 模糊控制 参数辨识 多体系统理论 静态性能 曲线拟合 定位误差 热误差 迟滞性 微功率补偿 传感器 误差建模