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晶化 X光光电子能量谱 电阻率 电子束蒸镀 结构 光致发光 微观结构 透过率 衬底类型 透射率 表面形貌 激子发射 氧分压 Cr掺杂ZnO薄膜 射频磁控溅射 薄膜 ZnO薄膜 氮化碳 室温磁性 LiCoO2薄膜 X射线衍射 磁控溅射 Zn080Co015Mn005O薄膜 ZnCoCuO薄膜 ZAO薄膜 脉冲激光沉积 射频溅射