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表面微加工图谱-自然科学领域：

研究人员

雒建斌 雷红 高曙明 刘玉生 李建华 张朝辉

相关术语

微机电系统 平整化 化学机械抛光 可制造性评价 工艺层模型 计算机辅助设计

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