叶勇 万静 熊健民 冉均国 徐永春 周金枝 丁玉成 马建华 刘卫国 余天庆 李辉 立 刘红忠 尹磊 虞乔琪 卢秉恒

分子动力学 离子束 弯曲应力 模型试验 阻蚀胶 薄膜表面粗糙度 X-射线光刻掩模 薄膜粗糙度 锥形组合壳 Monte Carlo法 薄膜性质 金刚石薄膜 压印光刻 薄膜厚度 稳定 ANSYS有限元 正交异性钢桥面板 薄膜结构 局部应力 有限元分析 边缘应力 混合法 CVD沉积工艺 成膜控制 基片曲率法 内压