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薄膜应力图谱-自然科学领域：

研究人员

叶勇 万静 熊健民 冉均国 徐永春 周金枝 丁玉成 马建华

相关术语

分子动力学 离子束 弯曲应力 模型试验 阻蚀胶 薄膜表面粗糙度 X-射线光刻掩模 薄膜粗糙度

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