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氮化硅薄膜图谱-自然科学领域：

研究人员

刘丽辉 王保柱 李艳 夏钟福 于威 石旺舟 郭亨群 周宏余

相关术语

驻极体 光学带隙 发光机制 螺旋波等离子体 硼离子注入 PECVD法 光致发光 射频磁控反应溅射

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