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氧化铝薄膜图谱-自然科学领域：

研究人员

王为 郭太良 巩运兰 郭鹤桐 何国金 王惠

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沉积速率 计算机 孔径 半导体硅片 内应力 反应磁控溅射 室温 电子自旋极化

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