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加工性能 温度场 反应磁控溅射 弹流润滑 射频输入功率 氟化类金刚石薄膜 调节剂 铁基摩擦材料 含水量增加 润滑组元 射频磁控溅射 加氢基础油 表面形貌 花键轴 镶嵌自润滑轴承 轧制基础油 GeSb2Te4膜 纳米粒子 （C4H10N2H）3HSiMo12O40 钛 粘土 金属底材 短切炭纤维 制动 甘蔗渣 表面微织构 摩擦材料 重载齿轮 粘附力 正压力