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射频等离子体图谱-自然科学领域：

研究人员

马腾才 杨艳 刘成森 章玉萱 霍伟刚 王德真 郭宝海 丁振峰

相关术语

高频放电Al2O3膜 调谐基片自偏压 等离子体增强磁控溅射沉积 正反馈

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