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射频磁控反应溅射图谱-自然科学领域：

研究人员

陈雄文 邱春文 石旺舟 李阳平 刘正堂 闫锋 刘其军 欧阳艳东

相关术语

Y2O3 氮化硅薄膜 电场 红外吸收光谱

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