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射频功率图谱-自然科学领域：

研究人员

冯克成 刘静 王玉新 王晶 余花娃 彭昭廉 杜亚利 徐静平

相关术语

PECVD 反应气压 计算机模拟 射频磁控溅射 结晶性 半导体 磁控溅射 多晶硅膜

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