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局部直角坐标系 磁镜 极坐标系 等离子体 束流调制 静电哨声波 粒子推进 边界条件 数值计算 单元粒子法 内表面等离子体源离子注入 回旋磁场 电磁场 平板薄靶 引导场 电子密度降低 Borris旋动方法 圆形薄靶 高功率微波 质量比 直接模拟蒙特卡罗法 电子动力学 面向对象技术 电子加速 介质层 真空微电子 羽流 等离子体源离子注入 反馈 Smith-Purcell效应