李玉晓 金剑华 沈伯礼 孟尔熹 牟宗信 刘吉祥 李国卿 韩景明 李涛 唐敦乙 任春生 张永恩 郑世泉 杨东升 刘效增 周凤生 张建华 杨磊 董艾平 王建勇 严一心 张胜基 亢孝俭 朱昌 孙别和 唐政清 刘柱华 霍裕平 卢进军 饶雨生

离子束 高压舱 中国科学院 束流密度 等离子体探针诊断 均匀性 开关电源 吸附 负离子 电磁场 溅射 模拟 真空弧放电 大束斑 亮度 薄膜 离子发射 电子温度 束流光学 辉光放电 类金刚膜 铯离子 靶点 薄膜淀积 功函数 发射面 表面粗糙度 金属等离子体 离子束刻蚀 离子束

离子束