周泓 马平西 张晓清 曾美云 史日华 陈国栋 汪文仙 周俊青 魏希文 夏龙 王峰 王树森 王志忠 王美田 冯景星 师延进 陈庆贵

压力传感器 整流接触接触电阻率 多晶 掺杂浓度 气体分离膜 异质外延 氧化钇稳定的氧化锆 各向异性腐蚀 薄膜 外延硅 分离因子 高温预处理 欧姆接触 铝 灵敏度 压阻 硅单晶 裂解 压阻系数 渗透系数