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硼碳氮薄膜图谱-自然科学领域：

研究人员

冯克诚 冯克成 刘镒 吴云 于杰 龚恩乐 赵永年 郑亚茹

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内应力 射频磁控溅射 结晶度 傅里叶变换红外光谱 X射线光电子能谱 透过率 工作气压 射频功率

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