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刻蚀图谱-自然科学领域：

研究人员

黄建兴 王玉 马艺华 陈忠浩 魏仁选 赵元庆 谢黎 王建祺

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仿真 电子数密度 粗糙度 电子温度 高定向裂解石墨 饱和剂量 铝板 剪切强度

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