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反应离子刻蚀图谱-自然科学领域：

研究人员

林绥娟 刘红忠 卢秉恒 史永胜 曾皓 胡素英 张鉴 顾艳妮

相关术语

聚合物 残膜 刻蚀率 微电镀 透射光栅 刻蚀速率 微透镜 聚酰亚胺

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