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体硅工艺图谱-自然科学领域：

研究人员

贾陈平 訾艳阳 孟永钢 温诗铸 苏才钧 李庆祥 李玉和 吴昊

相关术语

静摩擦因数 微摩擦测试机构 微夹持器 晶向 键合技术 微机电系统 摩擦磨损 有限元方法

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