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ZrO2薄膜图谱-自然科学领域：

研究人员

马平 曹传宝 孟广耀 常爱民 李凡庆 赵红生 李锋 朱世富

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等离子体化学气相淀积 XRD 等效厚度 激光损伤 漏电流 表面形貌 高介电栅介质 氧分压

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