刘艳霞 王玉红 周继承 杨富 宋维才 龚恒翔 刘福 甄聪棉 孟旭东 路万兵 刘技文 李娟 杨映虎 王印月 蒋钢娟 傅广生 刘雪芹 于威 吕雪芹 孙永昌

制备 复合靶 射频磁控溅射 光致发光 射频溅射 溅射技术 薄膜硬度 RF共溅射 应力 力学性能 薄膜结构 光学带隙