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立图谱-自然科学领域：

相关人员

万静 冉均国

研究领域

X-射线光刻掩模 金刚石薄膜 薄膜应力 CVD沉积工艺 薄膜粗糙度

所属机构

四川成都 西南民族学院化学系 四川大学无机非金属材料系

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