张荣耀 王川 冯文修 陈蒲生 刘小阳

介质膜 薄膜 表面 热电子注入 快速热氮化 氮原子 二氧化硅 分布 氮化反应 氧化退火 特性 界面 动力学 扩散 界面陷阱 热氮化

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