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郭宝海图谱-自然科学领域:
相关人员
马腾才
章玉萱
王德真
研究领域
等离子体增强磁控溅射沉积
高频放电Al2O3膜
麦克斯韦尔-波尔滋曼分布律
高频放电
氩
辉光放电
波尔兹曼方程
射频等离子体
所属机构
大连理工大学三束材料改性国家重点实验室
大连理工大学三束材料改性国家重点实验室大...
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