隋毅峰 王元生 喻宪辉 任兆杏 吴雪梅 舒兴胜 吴自勤 汪建华 袁润章

热力学函数 稳定运行 ECR等离子体 X模式 微波功率 真空波导 准晶相 溅射 结构 磁轭 Ti薄膜 放电 沉积金属薄膜 等离子体 电子回旋共振ECR) MWPCVD装置 晶粒尺寸 晶化转变 金刚石膜 结合能 电子回旋共振（ECR）

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