隋毅峰 王元生 喻宪辉 任兆杏 吴雪梅 舒兴胜 吴自勤 汪建华

热力学函数 稳定运行 ECR等离子体 X模式 微波功率 真空波导 准晶相 溅射

武汉工业大学 苏州大学物理系 福州大学化学系 中科院等离子体所 中国科学院固体物理所 中科院等离子体物理所 中国科学院等离子体物理研究所 武汉工业大学材料复合新技术国家重点实验室