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波前校正器 综合误差 前馈控制非轴对称表面 误差控制技术 测量系统主轴回转误差 伺服控制非轴对称表面 补偿装置 光学零件 主轴 快速伺服刀架 动态补偿系统

大连理工大学机械工程系 大连理工大学机械工程学院