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虞悙图谱-自然科学领域：

相关人员

王贵华 王东红 陈伟平 于杰

研究领域

硅微机械加工技术 谐振器 谐振梁

所属机构

哈尔滨工业大学测试分析中心 哈尔滨工业大学航天电子与光电工程系

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