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薛实福图谱-自然科学领域：

相关人员

李庆祥 王云庆 王伯雄 于水 李志 徐毓娴 李坚 王鑫云 白立芬

研究领域

SSPDA 台阶高度 CCD 干涉测量 有限元方法 分光光度法 膜厚测量 弹性支承 显微镜 台阶仪 干涉仪 单频 接触测量 全息四面衍射光栅 激光

所属机构

清华大学精密仪器与机械学系 精密仪器与机械学系 机械电子工业部第12所

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