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蒋宾图谱-自然科学领域:
相关人员
吴晓京
吴子景
研究领域
薄膜
纳米硬度
氮化硅
纳米压痕
弹性模量
材料科学
等离子体增强化学气相淀积
纳米摩擦学
所属机构
复旦大学材料科学系
上海集成电路研发中心
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