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永福图谱-自然科学领域：

相关人员

宋文斌 张丽 王莉 石广源 赵贵勇 宋哲 王芳

研究领域

场板 SOI 自对准工艺 硅化钛 保护环 结终端技术

所属机构

辽宁大学物理系 辽宁沈阳 东北微电子研究所

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