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沈复初图谱-自然科学领域：

相关人员

陈坚 郦剑 叶必光 龚晨光 刘立

研究领域

硅烷 SiOx膜层 减压 附着性 化学气相沉积 硅外延

所属机构

浙江杭州 浙江大学材料系 浙江大学材料科学与工程系

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