姬成周 高愈尊 张通和 孙贵如 杨建华 陈俊 谭福进

注入条件匹配 双元溅射 射程计算 离子束加热 TiN双注入 计算机模拟 靶温影响 增强扩散 金属间化物 浓度分布 提高抗磨损性能 硬化机理 H13钢 合金相与金属间化合物 析出物 抗磨特性 抗磨损特性 Ti 注入 Ti注入 离子注入 Ti离子注入 溅射效应 合金相

北京师范大学低能核物理研究所 北京有色金属研究总院 低能核物理研究所 北京有色金属研究总晚电子显微镜室 广州暨南大学物理系