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檀柏梅图谱-自然科学领域：

相关人员

李嘉席 郝子宇 连军 赵之雯 牛新环 肖文明 刘玉岭 李薇薇

研究领域

固体表面 精密加工 化学机械抛光 磨料 润湿剂 硅片 去除速率 杂质氧

所属机构

河北工业大学微电子研究所 河北工业大学信息工程学院 河北工业大学半导体材料研究所 河北工业大学微电子技术与材料研究所 河北工业大学信息工程学院微电子研究所

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