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段生权图谱-自然科学领域：

相关人员

陈明 洪啸吟 张斌 王培清

研究领域

溶胶-凝胶法 二氧化硅 无显影气相光刻 光刻

所属机构

清华大学化学系 浙江大学硅材料国家重点实验室

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