黄玉波 胡春光 靳世久 赵伯雷 张文栋 李一博 胡小唐 刘钢 曾周末 王立坤 傅星 官志坚 金翠云 徐临燕 宋光德 安兆亮 沈瑶琼 张慧 宋孝勇 谢初南 李源 胡晓东

微触觉测头 频闪成像 弯曲测试 MEMS谐振器 超声直线微电机 精密定位 动态特性 微机电系统 驱动系统 杨氏模量 坐标变换 三维轮廓测量 自动控制技术 各向异性 振动特性 块匹配 塌陷电压 谐振频率 阻尼比 最小二乘法 纳机电系统 自由衰减 速度控制模型 微加工超声传感器 振动测试 微纳机电系统 纳米梁 三维测量 原子力显微镜 调平

天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室 上海市计量测试技术研究院 中国北方大学电子测试技术国家重点实验室