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朱春燕图谱-自然科学领域：

相关人员

何哲 孙林岩 朱昌

研究领域

服务型制造 反应磁控溅射 概念 学科体系 AlN薄膜 沉积速率 透过率 主要问题

所属机构

西安交通大学管理学院 机械制造系统工程国家重点实验室 西安工业大学薄膜技术与光学检测重点实验室

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