宋云 陆海纬 赵清太 王蓓 李越生 宗祥福 张敬海 蔡磊

饱和剂量 离子束流 离子注入 无掩膜离子注入 二次缺陷 离子束吸杂技术 聚焦离子束 刻蚀

北京大学 复旦大学 复旦大学材料学系 复旦大学材料科学系 上海200433副教授