王岳 李观启 陈蒲生 刘玉荣 李斌 田小峰 冯文修 王川 刘小阳 张昊 钟平 黄美浅

最优化工艺 等离子体增强化学气相淀积 氩离子束 湿敏特性 氩离子 光学特性 钛酸镧钡铌薄膜 界面特性 光敏特性 晶体管 吸除 热敏电阻器 击穿 电流放大系数 SrTiO3薄膜 轰击 低温 电学特性 热敏特性 钙肽矿氧化物 介质膜

华南理工大学应用物理系 广东广州