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杨渭2图谱-自然科学领域：

相关人员

陈光红 吴清鑫 于映 罗仲梓 张春权

研究领域

聚酰亚胺 氮化硅 残余应力 PECVD

所属机构

福建厦门 福建福州 福州大学物理与信息工程学院 厦门大学萨本栋微机电研究中心

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