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共注入 原子力显微镜 过滤阴极真空弧沉积 传输 Ag离子注入 真空弧放电 阴极接地 磁过滤阴极真空弧沉积（FVAPD） 均匀腐蚀 磁过滤阴极真空弧 非晶态碳膜 动态增强沉积 离子束 磁过滤 C 磁过滤管道磁场 阳极接地 聚酯膜 传输特性 材料表面改性 钢 纳米晶 Ta-C薄膜 等离子体 金属等离子体 质子激发的X射线能谱分析（PIXE） 沉积能量 均匀性 类金刚石膜 离子注入

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