陈海霞 赖贵川 袁玉全 马自军 向必纯 王永华 马书懿 王红艳

含纳米硅的二氧化硅薄膜 射频磁控溅射 磁控共溅射法 锗氧化硅纳米多层膜 KP方程 尘埃颗粒电荷变化 纳米碳粒 双温非热离子

甘肃兰州 四川自贡 四川理工学院物理系 西北师范大学物理与电子工程学院