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补偿算法 Pt100 动态特性 不锈钢 小模数齿轮 齿距累积误差 前馈控制非轴对称表面 测量系统 快速伺服刀架 波前校正器 振动参数 齿轮参数测量整数逼近循环比例驱动 阶段误差补偿 伺服控制非轴对称表面 金刚石刀具 光学零件 温度测量 齿距误差

大连理工大学机械工程系 大连理工大学机械工程学院