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研究领域
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Si基光电子集成
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Si基光子材料
SiOxNy栅介质
半导体纳米结构
制备方法
量子力学效应
Ge纳米结构
器件应用
半导体超晶格与微结构
热退火N化
化学气相沉积
自组织生长
优质薄层外延与精密微细加工
纳米量子器件
新效应
生长机制
半导体物理
热退火
与氧相关的缺陷
显微结构特征
纳米电子学
Ar激光诱导淀积
掺杂nc-Si:H膜
新技术革命
量子限制效应
气-液-固生长
量子器件
所属机构
河北大学电子信息工程学院
河北保定
北京航空航天大学材料物理与化学研究中心
中国科学院微电子中心
河北大学电子系
河北大学物理系
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