李国辉 吴瑜光 卢志恒 李映雪 韩德俊 唐景庭 王策寰 李雪春 刘伊犁 张兴 王文勋 朱红清 王阳元 姬成周 阎凤章 张通和 朱德华 李素杰 周生辉 张荟星 张朝明 陈如意

预非晶 Si和S注入GaAs 快速热退火 SOI材料 扩展缺陷和杂质 载流子陡峭剖面分布 白光快速退火 nSi)-GaAs SIMOX 顶部硅层 硅注入 BF影响 半绝缘砷化镓 二次离子质谱分析 双重离子注入 扩展电阻法 B离子注入 n（Si）-GaAs 增强扩散 络合物B（Ga）V（As） 施主 络合物BGa)VAs) 浅结 施主受主补偿 PN结漏电机理 光发光 离子注入 背散射分析 高密度缺陷运动 As注入Si

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