于映 吴清鑫 张峰 陈光红 张春权 何熙 陈松岩 方辉 沈德新 杨渭2 陈志扬 周勇亮 谷丹丹

剥离 PECVD PDMS 键合 氮化硅 残余应力 芯片实验室 氧等离子体 聚酰亚胺 中真空 反转 微互连柱 AZ5214E

福建厦门 厦门大学萨本栋微机电研究中心 福建福州 厦门大学化学系 福州大学物理与信息工程学院 厦门大学物理学系 福建省化学生物学重点实验室 厦门大学萨本栋微机电中心