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田书凤图谱-自然科学领域：

相关人员

范志东 张弘 彭英才

研究领域

SiOxNy栅介质 氮注入 热退火N化 等离子体氮化 化学气相沉积

所属机构

河北保定 河北大学电子信息工程学院

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