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S参数 工业纯铁 薄膜 耐蚀性 磁控溅射 分解 渗透过程 氢化物

北京联大机械工程学院 北京科技大学材料物理系 北京科技大学材料科学与工程学院 北京科技大学表面科学与腐蚀工程系 中国科学院物理所北京真空物理实验室